源和小編今天為大家分享半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理的解決方案。

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑高質量、顯影劑、光刻膠選擇適用、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分管理。 在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放業務指導。

     目前改進措施，針對這種氣體排放，一 般采用吸附長足發展、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法今年。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上結構不合理，達到分離的目的動手能力。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物意見征詢，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)提升，凈化效率高，設(shè)備簡單的必然要求，操作方便研究成果，且能實現(xiàn)自動控制。

但固體吸附劑的吸附容量小完善好，需要大量的吸附劑大面積，設(shè)備龐大，且吸附后吸附劑需要再生處理問題分析，是吸附處理的主要缺點搖籃。半導(dǎo)體生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機廢氣通過局部排風(fēng)罩收集技術，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)推廣開來。一般采用活性炭作為吸附劑標準。因為活性炭是非極性吸附劑，對廢氣中水蒸氣的靈敏度不高堅持好，且價格便宜即將展開。 焚燒的方法也廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種有機廢氣處理，通過熱氧化將有機物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水特性。同時傳承，焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中建言直達，有機廢氣流經(jīng)過加熱多種，氣相中的有機物被氧化。為節(jié)省燃料使用充分發揮，通常還使用熱交換器發展成就，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進口氣體進行預(yù)熱。對于處理大流量重要方式、低濃度的氣體開展面對面，通常都要采用這種方法。 由于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2非常重要，且SiO2會使催化劑鈍化進一步提升，因此半導(dǎo)體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法。

一些半導(dǎo)體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機廢氣營造一處，如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪改革創新。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小時）和濃度低（通常小于 25ppmv） 的特點，使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率取得顯著成效。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪新模式，其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物估算，并使用蒸汽或熱將其脫附講理論。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物，這種低流量不要畏懼、高濃度的氣流能很好地被氧化服務為一體。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一個缺點是它對甲醇親和力較差，去除率僅為 40-60％逐漸顯現。

     總而言之全會精神，廢氣處理方面，半導(dǎo)體行業(yè)酸拓展基地、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進行處理法治力量， 工藝方法已非常成熟全技術方案，只要適當(dāng)優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù)，能夠滿足本標(biāo)準(zhǔn)的要求共享，需要關(guān)注的有 機廢氣的處理信息化。目前處理有機廢氣的工藝有吸附法、吸收法生動、直接燃燒法新型儲能、催化燃燒法、冷凝法等新品技，吸附法采用活性炭直接吸附範圍，凈化效果好，但是運營成本會很高紮實做；吸收法適合于溫度低空間廣闊、中高濃度的廢氣；直接燃燒法適合于高濃度提供深度撮合服務、小風(fēng)量廢氣治理服務品質；冷凝法適用于成分相 對單一、濃度高事關全面、且有一定回收價值的有機廢氣表現明顯更佳。對于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度、大風(fēng)量技術節能、成分復(fù)雜的有機廢氣指導，吸附法、吸收法國際要求、燃燒法流動性、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃燒法競爭激烈。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒持續創新，該方法適用于大風(fēng)量、低濃度空白區、常溫的有機廢氣處理協調機製，凈化效率達到90％以上，濃縮比達20﹕1形勢，運行費用較低實踐者，設(shè)備處理風(fēng)量大，占地面積小服務機製，不產(chǎn)生二次污染貢獻力量，可持續(xù)脫附并處理污染物。根據(jù)企業(yè)實際運 行情況大幅拓展，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時發行速度，處理效率達到95%更加堅強；200mg/m3以下時處理 后濃度控制在20mg/m3，可保證廢氣達標(biāo)排放性能。

通過小編以上的介紹初步建立，您是否對半導(dǎo)體行業(yè)VOCs處理有了更深入的認識了呢，希望能幫助到您組建。如您想了解更多的廢氣處理相關(guān)知識各有優勢，歡迎您關(guān)注源和環(huán)保。

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