源和小編今天為大家分享半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理的解決方案。

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑動手能力、顯影劑高端化、光刻膠首要任務、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分積極拓展新的領域。 在工藝過程中的特點，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放應用創新。

     目前提高，針對這種氣體排放，一 般采用吸附的特性、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法交流。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上提供堅實支撐，達到分離的目的還不大。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物信息化技術，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)發揮作用，凈化效率高，設(shè)備簡單逐步顯現，操作方便銘記囑托，且能實現(xiàn)自動控制。

但固體吸附劑的吸附容量小自動化裝置，需要大量的吸附劑示範，設(shè)備龐大，且吸附后吸附劑需要再生處理開展攻關合作，是吸附處理的主要缺點製度保障。半導(dǎo)體生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機廢氣通過局部排風(fēng)罩收集，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)的有效手段。一般采用活性炭作為吸附劑統籌推進。因為活性炭是非極性吸附劑方案，對廢氣中水蒸氣的靈敏度不高，且價格便宜的必然要求。 焚燒的方法也廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種有機廢氣處理研究成果，通過熱氧化將有機物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水。同時完善好，焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法大面積。在熱氧化中，有機廢氣流經(jīng)過加熱問題分析，氣相中的有機物被氧化培養。為節(jié)省燃料使用，通常還使用熱交換器更加完善，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進口氣體進行預(yù)熱形式。對于處理大流量、低濃度的氣體支撐作用，通常都要采用這種方法日漸深入。 由于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2，且SiO2會使催化劑鈍化同時，因此半導(dǎo)體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法互動式宣講。

一些半導(dǎo)體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機廢氣，如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪模式。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小時）和濃度低（通常小于 25ppmv） 的特點自動化，使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪通過活化，其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中落地生根。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物，并使用蒸汽或熱將其脫附健康發展。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物有效保障，這種低流量、高濃度的氣流能很好地被氧化長效機製。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一個缺點是它對甲醇親和力較差講實踐，去除率僅為 40-60％。

     總而言之奮戰不懈，廢氣處理方面市場開拓，半導(dǎo)體行業(yè)酸、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進行處理大大縮短， 工藝方法已非常成熟要落實好，只要適當(dāng)優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù)，能夠滿足本標準的要求，需要關(guān)注的有 機廢氣的處理組織了。目前處理有機廢氣的工藝有吸附法服務體系、吸收法、直接燃燒法搶抓機遇、催化燃燒法分析、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附全面闡釋，凈化效果好非常激烈，但是運營成本會很高；吸收法適合于溫度低引人註目、中高濃度的廢氣領域；直接燃燒法適合于高濃度、小風(fēng)量廢氣治理好宣講；冷凝法適用于成分相 對單一帶來全新智能、濃度高、且有一定回收價值的有機廢氣新產品。對于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度、大風(fēng)量橋梁作用、成分復(fù)雜的有機廢氣長遠所需，吸附法、吸收法讓人糾結、燃燒法規模、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃燒法基石之一。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒聯動，該方法適用于大風(fēng)量、低濃度共同努力、常溫的有機廢氣處理行業內卷，凈化效率達到90％以上，濃縮比達20﹕1逐漸完善，運行費用較低參與能力，設(shè)備處理風(fēng)量大，占地面積小是目前主流，不產(chǎn)生二次污染充分發揮，可持續(xù)脫附并處理污染物。根據(jù)企業(yè)實際運 行情況優勢領先，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時迎來新的篇章，處理效率達到95%；200mg/m3以下時處理 后濃度控制在20mg/m3推動並實現，可保證廢氣達標排放薄弱點。

通過小編以上的介紹覆蓋範圍，您是否對半導(dǎo)體行業(yè)VOCs處理有了更深入的認識了呢，希望能幫助到您形勢。如您想了解更多的廢氣處理相關(guān)知識實踐者，歡迎您關(guān)注源和環(huán)保。

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