半導(dǎo)體廢氣處理
一勇探新路、半導(dǎo)廢氣處理成份
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要成分為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類成分：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣全過程、硫酸霧、氟化物探討、氯化物不負眾望、氯氣等。
二調解製度、行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)
三精準調控、半導(dǎo)體廢氣處理方法
一般半導(dǎo)體行業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預(yù)處理階段：采用噴淋塔先對廢進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體應用的因素之一。
(2)主要處理階段：在此階段解決，比較常見而有效方法有：UV光解，生物過濾分解敢於監督，焚燒和催化燃燒等幅度。
由于每家企業(yè)具體產(chǎn)生的廢氣成分、風(fēng)量大小重要的作用、廢氣濃度不同貢獻，所以采用的半導(dǎo)體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結(jié)合使用，具體處理方案可以咨詢我們穩中求進，我們將有工程師一對一為您定制廢氣處理方案統籌。
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