半導體廢氣處理
一表示、半導廢氣處理成份
半導體行業(yè)廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿廢氣兩類穩定。有機類成分:非甲烷總烴良好、氮氧化物高品質、二氧化硫等取得了一定進展,酸堿類成分:氨氣實現了超越、硫酸霧新產品、氟化物、氯化物相對開放、氯氣等推進高水平。
二脫穎而出、行業(yè)排放標準
三拓展應用、半導體廢氣處理方法
一般半導體行業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下:
(1)預處理階段:采用噴淋塔先對廢進行預處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體結構。
(2)主要處理階段:在此階段管理,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解能力建設,焚燒和催化燃燒等模樣。
由于每家企業(yè)具體產(chǎn)生的廢氣成分、風量大小服務、廢氣濃度不同很重要,所以采用的半導體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結合使用,具體處理方案可以咨詢我們覆蓋,我們將有工程師一對一為您定制廢氣處理方案異常狀況。
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